UV光解是利用紫外燈對VOCs進行近距離照射，破壞化學鍵，氧化一部分的VOCs為二氧化碳、水；同時將部分的大分子VOCs裂解為小分子化合物，其中小分子化合物大多數均為含C-O、C﹦O的小分子化合物。紫外燈是UV光解的核心組成部分，比如採用185nm紫外燈照射VOCs或惡臭氣體，能將鍵能小於647KJ/mol的化合物破壞，同時185nm紫外燈中波長更短的紫外線也可將部分VOCs進行氧化分解。